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高k栅介质材料与器件集成(清华大学出版社十四五普通高等教育本科规划教材)/面向新工科的材料类基础教材丛书
所属分类:
电子电脑
>>
电工无线电自动化
>>
无线电电子.电讯
作者:
编者:何刚|责编:鲁永芳
出版社:
清华大学
丛书项:
面向新工科的材料类基础教材丛书
本书旨在向材料及微 电子集成相关专业的高年 级本科生、研究生及从事 材料与器件集成行业的科 研人员介绍栅介质材料制 备与相关器件集成的专业 技术。本书共10章,包括 了集成电路的发展趋势及 后摩尔时代的器件挑战, 栅介质材料的基本概念及 物理知识储备,栅介质材 料的基本制备技术及表征 方法;着重介绍了栅介质 材料在不同器件中的集成 应用,如高κ与金属栅、 场效应晶体管器件、薄膜 晶体管器件、存储器件及 神经形态器件等。本书包 含栅介质材料的基本制备 技术,同时突出了栅介质 材料在器件应用中的先进 性和前沿性,反映了后摩 尔时代器件集成的最新研 究进展,是理论与实践应 用的有机结合。
人民币:
RMB 79.00
元 售价:
NT$ 316.00
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