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  • 一本书读懂芯片制程设备/集成电路科学与技术丛书

  • 所属分类：电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯     作者：编者:王超//姜晶//牛夷//王刚|责编:汤枫//韩静     出版社：机械工业
  • 丛书项：集成电路科学与技术丛书
  •     本书是围绕集成电路芯 片发展和新一代信息产业技 术领域（集成电路及专用设 备）等重大需求，编著的集 成电路芯片制程设备通识书 籍。 集成电路芯片作为信息 时代的基石，是各国竞相角 逐的“国之重器”，也是一个 国家高端制造能力的综合体 现。芯片制程设备位于集成 电路产业链的最上游，贯穿 芯片制造全过程，是决定产 业发展的最关键一环。本书 首先介绍了集成电路芯片制 程及其设备，并着重分析了 芯片制程设备的国内外市场 环境；然后，针对具体工艺 技术涉及的设备，详细综述 了设备原理及市场情况；最 后对我国集成电路芯片制程 设备的发展做了总结展望。 本书可为制造业企业和 研究机构提供参考，也可供 对集成电路芯片制程设备感 兴趣的读者阅读。
  • 人民币：RMB 99.00 元     售价：NT$ 396.00 元
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